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詳細介紹
EM69系列掃描電子顯微鏡成像質量出色、拓展性豐富、兼容低真空模塊、自動功能強大,結合眾多自動化功能,可幫助您在材料科學、生命科學或工業領域等進行科學研究及失效分析。
二、KYKY-EM69系列鎢燈絲掃描電子顯微鏡產品特點
兼容低真空模塊
選配多功能超大樣品倉
豐富的自動化功能
大視野導航相機
支持定制化
拓展豐富
三、KYKY-EM69系列鎢燈絲掃描電子顯微鏡技術參數
四、KYKY-EM69系列鎢燈絲掃描電子顯微鏡產品功能
1、預抽室-LoadLock
· 樣品直徑≤75mm;高≤15mm
· 換樣時間:≤2min
· 換樣桿配備鎖定功能,防脫落
2、多功能精密調節模塊
· 放大倍數粗調及細調 · 電對中
· 聚焦調節 · 消像散調節
· 亮度及對比度調節 · 電位移調節等
3 不同探測器同時成像
· 顯示SE,BSE 雙通道圖像
· 可任意設置不同探
· BSE探測器,反應樣品表面的成分特征
4 大圖拼接
· 樣品區全域視場矩陣自動規劃,拍照流程無需人工干預
· 百千張級數據量快速拼接實時預覽,構建全域清晰掃描大圖
5 粒度分析
采用深度學習的復合圖像處理算法,自動識別比例尺,精準識別圖像中的顆粒,多種形態參數的統計與導出
摻鋁碳酸鈷
多種形態參數結果
多種形態數據輸出
6 關鍵尺寸測量
具備距離,角度,水平線/垂直線/圓徑測算等,豐富的圖像測量功能
7電子束曝光
l 功能:基于掃描電鏡的電子束曝光系統(EBL),能夠精確地控制電子束的掃描路徑和能量沉積,從而實現高分辨率的圖形曝光。該系統采用*的電子束掃描控制技術,支持靈活多樣的圖案設計和精確控制,不僅具有電子束曝光功能,還保留了原SEM 的觀測功能,這使得用戶可以在同一臺設備上完成樣品的觀測和加工,提高了工作效率和便利性。
l 應用場景
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